FMA5400A and FMA5500A / 경제적인 기체 질량 유량 컨트롤러

NIST추적 가능 보정

온도 또는 압력 보정 없이 가스 질량 흐름을 읽고 제어

 

경제적인 알루미늄 또는 부식 방지 316SS에서 사용 가능

판독이 용이한 기울임식 LCD디스플레이

 

 

FM50/400A/50A시리즈 전자식 가스 질량 흐름 컨트롤러는 0~10SCCM~100SLM까지의 다양한 가스 흐름을 제어합니다. 가열된 관을 통한 열 전달을 이용하여 분자 가스 유량을 측정함으로써, FM55500 A는 가스 온도 또는 압력 한계(명시된 한계)의 변화를 보상할 필요 없이 직접 가스 유량을 측정합니다. 일반적인 가스 흐름을 위한 경제적인 aluminum/L/brass구조와 316SS구조에서 보다 많은 부식 저항을 필요로 하는 용도로 사용할 수 있습니다. 통합 디스플레이가 없는 FMA5400A시리즈는 원격 모니터링을 위한 아날로그 0-5VDS출력과 4-20mA출력이 모두 제공되며 FMA500A시리즈는 3-1A/2자리 디스플레이와 아날로그 출력이 모두 포함됩니다. 디스플레이는 보기 편리하도록 90도 이상 기울일 수 있습니다. 디스플레이는 질소에 대한 SCCM또는 SLM을 직접 판독할 수 있도록 보정된 표준입니다(특수 주문 시 기타 가스 보정 사용 가능). FM55400 A/S질량 흐름 제어기에는 입구 또는 출구 압력의 변화에 관계 없이 정상적으로 닫혀 있는 전자기 밸브가 내장되어 있습니다. 설정 지점은 케이스의 액세스 창을 통해 액세스 할 수 있는 전위차계를 통해 로컬로 제어되거나 아날로그 0-5VDS또는 4-20mA신호를 통해 원격으로 제어됩니다(필드 선택 가능).  FM55400 A시리즈에는 FM5550 A의 벽 플러그 인 소켓 전원 공급을 통해 공급될 수 있는 최대 800mA에서 12~26VDS의 전력이 필요합니다. 최대 800mA에서 12~15VDS전력@(크기 43,44및 45만 해당). 모델 번호 FMA5545 C(별도 공급)는 아날로그 출력 신호 및 전원 입력 연결에 액세스 하기 위한 차폐 케이블이 8피트인 메이팅 15핀"D"커넥터를 제공합니다. FMA500A시리즈와 함께 제공되는 LCD는 모듈식 플러그를 통해 하부 전자 장치에 연결됩니다. FM1/SC원격 케이블 어셈블리를 구입하면 LCD를 원격으로 배치할 수 있습니다. 그런 다음 LCD를 장착하기 위한 패널 어셈블리를 직접 구성해야 합니다.

 

 

사양
정확도:±1.5%FS(15~25°C(59~77°F)이상의 직선성 포함)
o에서 20%범위의 100SLM단위에 대해 0.7~4.2kg/cm²(10~60psia)±3%FS.
반복성: 풀 스케일의±0.5%
온도 계수:0.15%FS/°C
압력 계수:0.01%FS바
최대 압력 강하:50psid
응답 시간:25~100%FS의 설정된 유량의±2%내에서 5초

최대 가스 압력:70kg/cm2게이지(1,000psig)(100SLM까지 단위), 35kg/cm2게이지(500psig), 1.76 kg/cm(25psig)최적
가스 및 외부 온도:5~50°C(41~122°F)
누출 무결성:최대 외부 환경까지 1x10-7cc/sec
유체 접촉 재료:
알루미늄 모델:절연 알루미늄, 316SS, 황동 및 K-링
스테인리스 강 모델:316SS및는 O링

출력 신호:
선형 0~5VDS:1000Ω최소 로드
4~20mA:50~500Ω루프 저항,±20mV최대 노이즈
TransducerPower(변환기 전원):12~26VDS@800mA표준 다운율:40:1
배송 중량:1.8kg(4lb)
준수:EN55011 클래스 1, 클래스 B, EN50082-1
자세 민감도:수평 흐름 경로를 사용할 경우 최대+20도 피치까지 보정이 변경되지 않음
가스 상대 습도:0~70%RH

최소 압력 강하

 

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