Thermocouple - 19세기 초에 전기는 과학적 탐구에 있어서 흥미로운 분야가 되었으며 과학자들은 곧 금속들이 다양한 저항과 전도를 가짐을 알게

되었습니다. 1821년 토마스 요한 지벡은 상이한 금속들의 끝부분이 합쳐져 열에 노출될 때 전압이 발생함을 발견하였습니다.

펠티에는 이러한 열전대 효과를 역이용하여 펠티에 냉각장치를 발명하였습니다.

RTD - 같은 해 험프리 데이비는 금속의 전기저항률과 온도와의 관계를 증명하였습니다. 5년 후 베크렐은 온도 측정을 위하여 백금과 백금

쌍의 열전대를 사용할 것을 제안하였으나 레오폴디 노빌리가 실제로 그러한 장치를 만든 것은 1829년이었습니다.

백금은 1932년에 C.H. 마이어스가 발명한 저항온도감지기(RTD)에도 사용되었습니다. 이는 백금 선 한 가닥의 전기저항을 측정하는 장치이며

일반적으로 가장 정확한 온도 센서로 간주되고 있습니다.

백금 선 한가닥으로 구성 된 초기의 RTD는 쉽게 손상되기 때문에 산업용으로는 적합하지 않았습니다. 이에 따라 산업용 온도센서로 권선형,

박막형 RTD 가 발전되었으며, 최근에는 정확도는 떨어지지만 훨씬 더 튼튼한 필름형 박막 RTD가 많이 이용되고 있습니다.

IC센서 - 20세기에는 반도체 온도 측정 장치들이 발명되었습니다. 이러한 장치들은 온도 변화 반응에 있어 양호한 정확도를 가지나

현재까지는 선형성이 부족합니다.

 

 

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