모델 432.15, 외경 사이즈 1.3"
모델 432.10, 외경 사이즈 1"
적용 분야
- 요구사항이 많은 고순도 어플리케이션용 기체, 액체로 된 유해한 유체 및 환경
- 반도체 및 플랫 패널 산업 (flat panel industry)
- 가스 배출 시스템
- 의료용 가스
- 훅 업 어플리케이션 (Hook-up application)
주요 특징
- 압력계 내부에 데드 스페이스 (dead space) 없음
- 입자 생성 및 포집을 감소시키기 위한 낮은 내부 체적
- 컴팩트 디자인
- 헬륨 누설 검사 완료, 누설률 ≤ 10-9 mbar · l/s
- 전기 연마된 내부 및 케이스, 내부 표면 처리(internal surface finish) Ra < 0.25 μm (Ra < 10 μin)
제품 설명
미니 다이어프램 게이지는 소형 가스 스틱 및 가스 박스 어셈블리와 같이 제한된 공간을 필요로하는 고순도 애플리케이션용으로 개발되었습니다.
외경 사이즈 1" 및 1.3"은 최대 160 psi의 기체, 액체 및 부식성 유체와 관련된 어플리케이션에 이상적입니다.
미니 다이어프램 게이지는 헬륨 누설 테스트를 받았으며 내부는 최적의 순도 표준을 충족할 수 있도록 전해 연마 처리 됩니다.
이러한 UHP 특성으로, 미니 다이어프램 게이지는 반도체 및 플랫 패널 산업, 다양한 가스 배출 시스템 및 의료 가스 관련 분야에 적합합니다.
미니 다이어프램 게이지는 SEMATECH 및 SEMI 표준을 준수하여 여러분의 어플리케이션에서 요구하는 품질을 최적으로 보장합니다.
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