NIST추적 가능 보정

온도 또는 압력 보정 없이 가스 질량 흐름을 읽고 제어

 

경제적인 알루미늄 또는 부식 방지 316SS에서 사용 가능

판독이 용이한 기울임식 LCD디스플레이

 

 

FM50/400A/50A시리즈 전자식 가스 질량 흐름 컨트롤러는 0~10SCCM~100SLM까지의 다양한 가스 흐름을 제어합니다. 가열된 관을 통한 열 전달을 이용하여 분자 가스 유량을 측정함으로써, FM55500 A는 가스 온도 또는 압력 한계(명시된 한계)의 변화를 보상할 필요 없이 직접 가스 유량을 측정합니다. 일반적인 가스 흐름을 위한 경제적인 aluminum/L/brass구조와 316SS구조에서 보다 많은 부식 저항을 필요로 하는 용도로 사용할 수 있습니다. 통합 디스플레이가 없는 FMA5400A시리즈는 원격 모니터링을 위한 아날로그 0-5VDS출력과 4-20mA출력이 모두 제공되며 FMA500A시리즈는 3-1A/2자리 디스플레이와 아날로그 출력이 모두 포함됩니다. 디스플레이는 보기 편리하도록 90도 이상 기울일 수 있습니다. 디스플레이는 질소에 대한 SCCM또는 SLM을 직접 판독할 수 있도록 보정된 표준입니다(특수 주문 시 기타 가스 보정 사용 가능). FM55400 A/S질량 흐름 제어기에는 입구 또는 출구 압력의 변화에 관계 없이 정상적으로 닫혀 있는 전자기 밸브가 내장되어 있습니다. 설정 지점은 케이스의 액세스 창을 통해 액세스 할 수 있는 전위차계를 통해 로컬로 제어되거나 아날로그 0-5VDS또는 4-20mA신호를 통해 원격으로 제어됩니다(필드 선택 가능).  FM55400 A시리즈에는 FM5550 A의 벽 플러그 인 소켓 전원 공급을 통해 공급될 수 있는 최대 800mA에서 12~26VDS의 전력이 필요합니다. 최대 800mA에서 12~15VDS전력@(크기 43,44및 45만 해당). 모델 번호 FMA5545 C(별도 공급)는 아날로그 출력 신호 및 전원 입력 연결에 액세스 하기 위한 차폐 케이블이 8피트인 메이팅 15핀"D"커넥터를 제공합니다. FMA500A시리즈와 함께 제공되는 LCD는 모듈식 플러그를 통해 하부 전자 장치에 연결됩니다. FM1/SC원격 케이블 어셈블리를 구입하면 LCD를 원격으로 배치할 수 있습니다. 그런 다음 LCD를 장착하기 위한 패널 어셈블리를 직접 구성해야 합니다.

 

 

사양
정확도:±1.5%FS(15~25°C(59~77°F)이상의 직선성 포함)
o에서 20%범위의 100SLM단위에 대해 0.7~4.2kg/cm²(10~60psia)±3%FS.
반복성: 풀 스케일의±0.5%
온도 계수:0.15%FS/°C
압력 계수:0.01%FS바
최대 압력 강하:50psid
응답 시간:25~100%FS의 설정된 유량의±2%내에서 5초

최대 가스 압력:70kg/cm2게이지(1,000psig)(100SLM까지 단위), 35kg/cm2게이지(500psig), 1.76 kg/cm(25psig)최적
가스 및 외부 온도:5~50°C(41~122°F)
누출 무결성:최대 외부 환경까지 1x10-7cc/sec
유체 접촉 재료:
알루미늄 모델:절연 알루미늄, 316SS, 황동 및 K-링
스테인리스 강 모델:316SS및는 O링

출력 신호:
선형 0~5VDS:1000Ω최소 로드
4~20mA:50~500Ω루프 저항,±20mV최대 노이즈
TransducerPower(변환기 전원):12~26VDS@800mA표준 다운율:40:1
배송 중량:1.8kg(4lb)
준수:EN55011 클래스 1, 클래스 B, EN50082-1
자세 민감도:수평 흐름 경로를 사용할 경우 최대+20도 피치까지 보정이 변경되지 않음
가스 상대 습도:0~70%RH

최소 압력 강하

 

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