| 기체는 압력, 온도 조건에 따라서 체적이 달라지므로 어떤 조건에서 인가를 표기하여야 한다 |
| (1분동안 1세제곱 피트의 유체가 지나갔다는 의미) |
| scfm : Standard Cubic Feet per Minute = ft^3/m(Standard) |
| 1기압, 20도씨 일때 1분당 흐르는 입방피트 량 |
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ncfm : Nomal Cubic Feet per Minute = ft^3/m(Nomal) |
| 1기압, 0도씨 일때 1분당 흐르는 입방피트 량 |
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acfm : Actual Cubic Feet per Minute = ft^3/m(Actual) |
| 실제 측정 조건(실제 압력, 온도)에서 1분당 흐르는 입방피트량 |
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cfm : Cubic Feet per Minute = ft^3/m |
| 정해지지 않은 조건의 1분당 흐르는 입방피트량 |
| sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.) |
| 1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다. |
| 참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다. |
| [길이] 1ft(피트) = 0.3048m(미터) |
| [체적] 1m^3(루베) = 1,000L(리터) |
| ex) |
| 30 SCFM = 30ft^3/min = 30*(0.3048)^3/min = 0.8495m^3/min = 849.5 L/min (분당 849.5 리터) |
| 4 SCFM = 4ft^3/min = 4*(0.3048)^3/min = 0.1132m^3/min = 6.796m^3/h (시간당 6.796 루베) |
| 14 SCFM = 14ft^3/min = 14*(0.3048)^3/min = 0.3964m^3/min (분당 0.3965 루베) |